電磁閥閥芯檢

更新時(shí)間：2014-04-10

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一、電磁閥閥芯檢漏原因:

　　由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如硅烷( SiH4), 氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對(duì)所用的閥及相關(guān)部件, 漏率要求非常嚴(yán)格, 要求成品zui終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質(zhì)譜檢漏儀能達(dá)到了.

　　二、電磁閥閥芯檢漏方法

　　大概的檢測(cè)過程為:來料用放大鏡目視檢測(cè),激光焊接完成后再目視檢測(cè),zui后用氦氣質(zhì)譜檢漏儀做zui后檢測(cè),漏率值以氦氣檢漏儀測(cè)出的數(shù)據(jù)為準(zhǔn).

　　三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

　　1),先將閥接入工裝,形成一個(gè)密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.

　　2),啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時(shí)顯示一個(gè)漏率值.

　　3),在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時(shí)觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.

　　4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對(duì)象質(zhì)量不合格.如果漏率值能達(dá)到要求,該被檢對(duì)象合格,檢漏檢測(cè)完成.

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